真空系統配置 | 分子泵系統或擴散泵系統、粗抽機組、維持泵等組成 |
控制系統 | 全自動+手動系統 |
參數存儲 | 可對鍍膜機運行當中的工藝參數實時地進行采集和存儲,鍍膜機使用者可以對歷史記錄(如靶功率、靶電流、靶電壓、氣體流量、真空室壓強、溫度等)進行翻閱、查找,以進行數據分析和工藝改進。 |
其它功能 | 異常報警、故障報警、故障自檢提示等功能,最大限度地保障鍍膜機的運行安全和操作者的人身安全;采用北京質量流量控制單元或選配MKS流量計控制單元 |
驅動及工件轉動系統 | 變頻器控制,設置快慢轉,可配腳踏開關(用于裝卸件);三菱E700型變頻器、三相異步電機、減速機、邊傳動,自轉桿 |
濺射靶系統 | 陰極電弧、逆變式弧電源等;濺射靶(圓柱孿生靶、平面靶),中頻電源、偏壓電源等 |
截流閥系統 | 電動截流擋板0~90°任意角度可調。 |
適合在各種金屬上鍍各種顏色:鈦金、玫瑰金、黃金色、槍黑色、藍色等。也融合了國內外系統配套廠家的先進產品,并針對性地滿足客戶在技術上的述求。